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氧化鋁陶瓷在泛半導(dǎo)體中的應(yīng)用

文章出處:http://m.ljx1031.cn/industry/843.html人氣:9時間:2023-06-24

   氧化鋁陶瓷因為本身有著極其優(yōu)越的性能,現(xiàn)如今是一種被廣泛應(yīng)用在各個行業(yè)。因為氧化鋁陶瓷有著較高的導(dǎo)熱系數(shù)且材料比較便宜,所以高純度的氧化鋁陶瓷經(jīng)常被用在泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件中,今天鈞杰陶瓷小編就為大家分享一些被應(yīng)用在泛半導(dǎo)體設(shè)備上氧化鋁陶瓷。

   由于氧化鋁陶瓷有著高耐磨、熱導(dǎo)率高、高硬度、絕緣性能好及耐腐蝕等優(yōu)秀的性能,所以經(jīng)常被應(yīng)用在如光刻機、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、離子注入機、沉積設(shè)備等等,除了氧化鋁陶瓷以外,經(jīng)常被應(yīng)用在半導(dǎo)體設(shè)備中的還有氮化鋁、氮化硅、碳化硅、可加工陶瓷等。

   那么有哪些常見的氧化鋁陶瓷半導(dǎo)體設(shè)備零件呢?

   如氧化鋁真空吸盤,半導(dǎo)體行業(yè)的零部件對于晶圓的要求很嚴格,只有近乎完美的晶片才能避免對器件非常有害的電學(xué)和機械缺陷,因此需要對晶片進行整型、切片、研磨、清洗等多個步驟。在這些工序里,晶片都需要一個可以安置并固定的工作臺,采用陶瓷真空吸盤,也即一種通過高溫?zé)Y(jié)在材料內(nèi)部生成大量彼此連體或閉合的均勻?qū)嵭幕蛘哒婵阵w陶瓷,來通過真空吸力將半導(dǎo)體片、玻璃基板材料等工作物固定住。

   再比如常見的陶瓷機械手臂,在晶圓片的搬運中,會應(yīng)用到氧化鋁陶瓷制成的陶瓷機械手臂,將其安裝在晶圓搬運機器人上,相當(dāng)于機器人的手,負責(zé)搬運晶圓片到指定位置,其表面直接與晶圓接觸。因為晶圓片在極其容易受到其他顆粒的污染,所以一般在真空環(huán)境下進行。在此環(huán)境下,大部分材料的機械手臂一般難以完成工作,制作機械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度也需要很高。

   被應(yīng)用在半導(dǎo)體常見的零件還有許多,我們鈞杰陶瓷就是專業(yè)精密加工氧化鋁、氮化鋁、碳化硅陶瓷等等工業(yè)陶瓷的精密加工廠家,如果有需要可以通過網(wǎng)站電話聯(lián)系我們哦。

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